나노시스템은 2003년 설립해
나노미터의 분해능력을 가지면서 고속으로
3차원 형상을 측정할 수 있는 3차원
측정·검사시스템 전문 기업입니다
나노시스템은 20년 넘게 축적해온
광간섭 기술을 활용해 반도체·평판디스플레이
(FPD)·고밀도 인쇄회로기판(PCB)·전장용
반도체 기판(FCBGA)·미세 가공 분야 등에서
3차원 측정·검사 시스템을 제공하고 있습니다.
나노시스템의 광간섭을 이용한 비접촉
측정법은 나노미터 오더의 높이 측정
분해능을 가지며, AFM (Atomic Force
Microscope)이나 STYLUS등과 같은 접촉식
Profiler에 비하여 상대적으로 넓은 측정
영역을 가지면서, 비접촉식이기 때문에
측정물의 손상이 없이 미세패턴의 3차원
형상을 측정할 수 있는 강력한 장점을 가지고있습니다.
현재 나노시스템에선 위의 장점을
바탕으로 하여 연구 개발용 범용 측정장비에서
Flat Panel Display, Packaging용이나
Flip Chip용 고밀도 PCB, BGA Bump,
MEMS, 기타 엔지니어링 분야의 정밀가공면,
신소재 등의 전용 측정기로서 나노테크놀로지
산업계 최전선으로 적용 분야를 넓혀가고 있습니다.
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